Silizium bildet seit mehr als einem halben Jahrhundert die Grundlage moderner Computertechnik. Der Begriff „Post-Silizium-Ära“ kann jedoch einen falschen Eindruck vermitteln. Nach dem Stand von 2026 ist kein einzelnes Material bereit, Silizium gleichzeitig in Prozessoren, Speichern, Kommunikationssystemen und Leistungselektronik zu ersetzen. Stattdessen entwickelt sich die Halbleiterindustrie in Richtung einer Zukunft, in der mehrere Materialien miteinander kombiniert werden. Silizium bleibt die wichtigste Grundlage, weil es reichlich verfügbar, umfassend erforscht und durch eine riesige Fertigungsinfrastruktur unterstützt wird. Ingenieure ergänzen es jedoch zunehmend durch neue Kanalmaterialien, Leiter, optische Komponenten und dreidimensionale Strukturen, wenn Silizium allein nicht mehr die beste Lösung bietet. Die nächste Chipgeneration wird daher weniger durch einen einzigen radikalen Materialwechsel als durch gezielte Kombinationen geprägt sein: Silizium-Nanosheet-Transistoren für klassische Logik, zweidimensionale Halbleiter für die weitere Miniaturisierung, Siliziumkarbid und Galliumnitrid für eine effiziente Energieumwandlung sowie spezielle Verbindungshalbleiter für optische und hochfrequente Funktionen. Um zu verstehen, was nach Silizium kommt, muss betrachtet werden, welches Material sich für welchen Teil eines Chips eignet, wie weit es von der Serienfertigung entfernt ist und ob es zuverlässig zu vertretbaren Kosten hergestellt werden kann.
Der zunehmende Druck auf Silizium entsteht durch grundlegende physikalische Grenzen. Über Jahrzehnte steigerten Chiphersteller die Leistung, indem sie Transistoren verkleinerten und immer mehr davon auf einem Chip unterbrachten. Bei extrem kleinen Abmessungen lässt sich der elektrische Strom jedoch schwieriger kontrollieren, Leckströme nehmen zu und Wärme kann schlechter abgeführt werden. Das bedeutet nicht, dass Silizium plötzlich nicht mehr funktioniert. Vielmehr erfordert jeder weitere Fortschritt komplexere Strukturen, engere Fertigungstoleranzen und höhere Investitionen. Die Bezeichnungen moderner Fertigungsverfahren sind keine direkte Angabe einer einzelnen Transistorabmessung mehr. Begriffe wie „2 Nanometer“ beschreiben deshalb vor allem eine bestimmte Generation von Verbesserungen bei Dichte, Leistung und Energieverbrauch. Dennoch ist die technische Herausforderung real. Gates, Kanäle, Kontakte, Isolierschichten und Metallleitungen müssen in Bereichen funktionieren, die nur wenige Milliardstel Meter groß sind. Gleichzeitig müssen Milliarden Transistoren auf einem vollständigen Wafer möglichst identische Eigenschaften aufweisen.
Silizium besitzt weiterhin entscheidende Vorteile, die neue Materialien bislang nicht vollständig erreichen. Hersteller wissen, wie sich hochwertige Siliziumkristalle züchten, besonders saubere Grenzflächen mit Siliziumdioxid erzeugen und elektrische Eigenschaften durch gezielte Dotierung kontrollieren lassen. Auch große Wafer können mit vergleichsweise hohen Ausbeuten gefertigt werden. Entwicklungssoftware, Prüfverfahren, Fabriken und Lieferketten wurden über Jahrzehnte rund um die CMOS-Technologie aufgebaut. Dieses gesamte System zu ersetzen, wäre wesentlich schwieriger, als einen beeindruckenden Transistor in einem Forschungslabor zu demonstrieren. Besonders wichtig ist die Zuverlässigkeit. Ein neues Material muss jahrelanger elektrischer Belastung, wiederholten Temperaturwechseln, mechanischen Spannungen und Fertigungsschwankungen standhalten. Außerdem muss es sowohl für n-Typ- als auch für p-Typ-Transistoren geeignet sein, da moderne Logikschaltungen auf sorgfältig abgestimmten Paaren beider Varianten beruhen. Viele mögliche Nachfolger liefern in einer bestimmten Aufgabe hervorragende Ergebnisse, erfüllen aber noch nicht alle Anforderungen gleichzeitig.
Aktuelle Produktionspläne zeigen, dass Silizium noch lange nicht ausgedient hat. TSMC meldete, dass die N2-Generation mit Gate-All-Around-Nanosheet-Transistoren im vierten Quartal 2025 in die Großserienfertigung gegangen sei und 2026 deutlich hochgefahren werde. Die Weiterentwicklungen N2P und A16, deren Serienfertigung für die zweite Hälfte des Jahres 2026 vorgesehen ist, nutzen weiterhin fortschrittliche Siliziumtransistoren, verändern jedoch unter anderem die Stromversorgung und den Aufbau der Schaltungen. Intels 18A-Verfahren ging 2025 in Produktion und verbindet RibbonFET-Gate-All-Around-Transistoren mit einer rückseitigen Stromversorgung. Im Juni 2026 erklärte das Unternehmen, dass die verbesserte Variante 18A-P die Risikoproduktion erreicht habe. Diese Entwicklungen sind wichtig, weil sie zeigen, dass der unmittelbare Nachfolger älterer Siliziumtransistoren kein anderes chemisches Element ist. Es handelt sich vielmehr um eine technisch weiterentwickelte Form der Siliziumelektronik, bei der das Gate den Kanal vollständig umschließt und die Stromversorgung von der Rückseite des Wafers erfolgt, damit auf der Vorderseite mehr Platz für Signalleitungen bleibt.
Gate-All-Around-Transistoren bilden die wichtigste Verbindung zwischen heutigen FinFETs und späteren Bauelementen aus mehreren Materialien. Bei einem FinFET kontrolliert das Gate einen erhöhten Siliziumsteg von drei Seiten. Bei einem Nanosheet-Design verlaufen dünne, horizontale Schichten des Kanalmaterials durch ein Gate, das sie nahezu vollständig umgibt. Diese stärkere Kontrolle hilft dabei, Leckströme zu reduzieren. Gleichzeitig können Entwickler die Breite der einzelnen Schichten an unterschiedliche Leistungs- oder Energieziele anpassen. Führende Hersteller haben Gate-All-Around-Strukturen inzwischen in ihre neuesten Fertigungsgenerationen übernommen. Für Laien ist vor allem entscheidend, dass Transistoren selbst zunehmend dreidimensional aufgebaut werden. Fortschritte entstehen nicht mehr allein dadurch, dass flache Strukturen immer weiter verkleinert werden. Stattdessen wird die Form des Transistors verändert, damit der Strom auch bei sehr kleinen Abmessungen zuverlässig gesteuert werden kann.
Der nächste Schritt dürfte darin bestehen, komplementäre Transistoren übereinander anzuordnen. Dieses Konzept wird üblicherweise als Complementary Field-Effect Transistor oder CFET bezeichnet. Anstatt n-Typ- und p-Typ-Transistoren nebeneinander zu platzieren, werden sie vertikal gestapelt. Dadurch kann eine Logikzelle weniger Fläche benötigen. IBM beschreibt außerdem eine sequenziell gefertigte NanoStack-Architektur, bei der Schichten aus Nanosheet-Transistoren nacheinander übereinander verbunden und verarbeitet werden. Solche Entwürfe könnten die Transistordichte erhöhen, ohne dass jede horizontale Struktur drastisch schmaler werden muss. Sie passen zu einem breiteren Wandel im Chipdesign: Ein wachsender Teil des Fortschritts entsteht durch den Aufbau in die Höhe. Die Schwierigkeit besteht darin, obere Schichten hinzuzufügen, ohne bereits fertiggestellte Bauelemente darunter zu beschädigen. Temperaturgrenzen, präzise Ausrichtung, elektrische Verbindungen und die Kontrolle von Defekten werden deshalb ebenso wichtig wie die elektrischen Eigenschaften des Kanalmaterials.
Die vertikale Stapelung beseitigt den Bedarf an neuen Materialien nicht, sondern schafft zusätzliche Einsatzbereiche. Eine untere Transistorschicht kann weiterhin aus Silizium bestehen, weil dieses Material die etablierten Hochtemperaturprozesse verträgt. Eine obere Schicht könnte dagegen aus einem Halbleiter bestehen, der bei niedrigeren Temperaturen abgeschieden wird. Kontakte benötigen möglicherweise Metalle, die selbst bei sehr kleinen Abmessungen einen geringen Widerstand behalten. Isolierschichten müssen gleichzeitig unerwünschte elektrische Wechselwirkungen zwischen den gestapelten Bauelementen verhindern. Auch Wärme wird zu einem zentralen Problem, da dicht übereinanderliegende Schichten Energie im Inneren des Chips einschließen können. Deshalb lässt sich die Entwicklung nach Silizium nicht auf die Wahl eines besseren Transistorkanals reduzieren. Ein praxistauglicher Entwurf muss Kanäle, Kontakte, Leitungen, Isolation, Stromversorgung und Kühlung als zusammenhängendes System betrachten. Am erfolgreichsten wird nicht zwangsläufig das Material mit dem besten Einzelwert sein, sondern die Lösung, die die Effizienz des gesamten Chips verbessert, ohne an anderer Stelle ein noch größeres Problem zu verursachen.
Zweidimensionale Halbleiter zählen zu den am intensivsten untersuchten Kandidaten für zukünftige Logikschaltungen. Materialien wie Molybdändisulfid und Wolframdiselenid können nur eine oder wenige Atomlagen dick sein. Durch diese geringe Dicke kann das Gate eines Transistors den Kanal besonders wirksam kontrollieren. Das könnte Leckströme verringern, wenn herkömmliche Siliziumkanäle für eine weitere Verkleinerung ungeeignet werden. Anders als Graphen besitzen diese Materialien zudem eine nutzbare Bandlücke. Graphen leitet elektrischen Strom sehr gut, lässt sich jedoch nicht auf natürliche Weise vollständig abschalten, wie es für digitale Logik erforderlich ist. Forschungsergebnisse aus dem Jahr 2025 zeigten deutliche Fortschritte in Richtung industrieller Fertigung und gingen über einzelne Laborbauelemente hinaus. Imec präsentierte verbesserte p-Typ-Transistoren aus einlagigem Wolframdiselenid sowie stärker mit bestehenden Fertigungsverfahren vereinbare Methoden zur Herstellung von Kontakten und Gate-Strukturen. Eine weitere Arbeit zeigte Molybdändisulfid-Transistoren auf Wafergröße mit Kanal- und Kontaktlängen von weniger als 35 Nanometern. Die statistische Auswertung umfasste dabei etwa tausend Bauelemente.
Der mögliche Nutzen zweidimensionaler Materialien beschränkt sich nicht auf kleinere Einzeltransistoren. Da sie in extrem dünnen Schichten und teilweise bei niedrigeren Temperaturen als klassische Siliziumbauelemente verarbeitet werden können, eignen sie sich möglicherweise für Logik- oder Speicherschichten direkt oberhalb bereits vorhandener Schaltungen. Im Jahr 2025 berichteten Forscher über einen einfachen Prozessor, der aus etwa tausend n-Typ-Transistoren aus Molybdändisulfid und tausend p-Typ-Transistoren aus Wolframdiselenid auf demselben Chip bestand. In einem weiteren Projekt wurde eine zweidimensionale Speicherschicht aus Molybdändisulfid mit konventioneller CMOS-Steuerelektronik kombiniert. Dabei wurde eine Fertigungsausbeute von rund 94 Prozent angegeben. Diese Ergebnisse bedeuten nicht, dass Prozessoren für Notebooks schon bald vollständig aus zweidimensionalen Materialien gefertigt werden. Sie zeigen jedoch, dass sich die Forschung von einzelnen Rekordtransistoren in Richtung vollständiger Schaltungen, großflächiger Materialherstellung, Wiederholbarkeit und Integration mit bestehender Elektronik bewegt.
Dennoch bestehen erhebliche Hindernisse. Eine gleichmäßige und nahezu fehlerfreie Schicht auf einem großen Wafer herzustellen, ist deutlich schwieriger als die Fertigung einer kleinen hochwertigen Probe. Elektrische Kontakte können einen so hohen Widerstand verursachen, dass die Vorteile eines ausgezeichneten Kanalmaterials wieder verloren gehen. Gleichzeitig bilden sich geeignete Isolierschichten auf vielen zweidimensionalen Oberflächen nicht von selbst. Die Leistung von p-Typ-Transistoren liegt häufig hinter der von n-Typ-Bauelementen zurück, was ausgewogene Logikschaltungen erschwert. Auch Verunreinigungen müssen vermieden und jede Schicht mit nahezu atomarer Präzision positioniert werden. Deshalb dürften die ersten kommerziellen Anwendungen gezielt ausgewählt werden: zusätzliche Schichten für besonders energiesparende Logik, spezielle Speicher, Sensoren oder Schaltungen oberhalb einer Siliziumbasis. Ein vollständiger Ersatz von Silizium in leistungsfähigen Hauptprozessoren würde gleichzeitig Fortschritte bei Materialwachstum, Kontakten, Gate-Isolation, Lebensdauer, Schaltungsentwicklung und Qualitätskontrolle in der Serienfertigung erfordern.
Kohlenstoffnanoröhren bieten einen weiteren Ansatz für besonders energieeffiziente Transistoren. Eine solche Nanoröhre ist ein zu einem Zylinder gerolltes Gitter aus Kohlenstoffatomen, dessen Durchmesser ungefähr einen Nanometer betragen kann. Halbleitende Nanoröhren können bereits bei niedrigen Spannungen Strom wirksam transportieren. Dadurch sind sie für energiesparende Logik und für zusätzliche Transistorschichten oberhalb von Silizium interessant. Forschungsgruppen haben bereits Prozessoren und Testschaltungen auf Wafergröße mit Feldeffekttransistoren aus Kohlenstoffnanoröhren hergestellt. Die zentrale Herausforderung besteht nicht darin, zu beweisen, dass eine einzelne Nanoröhre schalten kann. Viel schwieriger ist es, sehr große Mengen davon in der richtigen Richtung, mit ausreichender Dichte und mit gleichmäßigen elektrischen Eigenschaften anzuordnen. Bereits ein geringer Anteil metallischer Nanoröhren, die sich nicht abschalten lassen, kann Schaltungen unbrauchbar machen. Daher sind zuverlässige Verfahren für Wachstum, Ausrichtung, Übertragung, Reinigung, Dotierung und Kontaktbildung notwendig, bevor diese Technologie mit der ausgereiften Siliziumfertigung konkurrieren kann.
Verbindungshalbleiter bestehen aus Elementen verschiedener Gruppen des Periodensystems und sind bereits heute unverzichtbar, wenn Silizium weniger geeignet ist. Galliumarsenid und Indiumphosphid kommen häufig in Hochfrequenz- und optischen Bauelementen zum Einsatz, da sich Elektronen in ihnen schnell bewegen können und bestimmte Verbindungen Licht effizient erzeugen oder erfassen. Statt einen vollständigen Siliziumprozessor zu ersetzen, werden diese Materialien zunehmend in Form kleiner spezialisierter Chiplets ergänzt. Im Juni 2026 berichtete imec über Fortschritte bei der Integration von III-V-Chiplets mit Silizium-CMOS über einen 300-Millimeter-Interposer für Hochfrequenz- und Rechenzentrumsanwendungen. Dieser Ansatz verdeutlicht eine realistische Materialstrategie: Silizium bleibt für dichte digitale Steuerlogik zuständig, während ein Verbindungshalbleiter nur dort ergänzt wird, wo seine Geschwindigkeit, seine optischen Eigenschaften oder sein Verhalten bei hohen Frequenzen die zusätzlichen Kosten und den höheren Fertigungsaufwand rechtfertigen.
Siliziumkarbid und Galliumnitrid sind in der Leistungselektronik bereits deutlich weiter entwickelt. Ihre große Bandlücke ermöglicht Bauelemente, die mit höheren Spannungen, Temperaturen und Schaltfrequenzen als herkömmliche Siliziumkomponenten arbeiten können. In vielen Anwendungen entstehen dabei geringere Energieverluste. Siliziumkarbid ist besonders wichtig für Wechselrichter in Elektrofahrzeugen, Schnellladegeräte, Industrieantriebe und Hochspannungs-Energiesysteme. Galliumnitrid eignet sich unter anderem für kompakte Ladegeräte, Telekommunikationsausrüstung, Solarwechselrichter, Robotik und Stromversorgungen leistungsfähiger Rechensysteme. Die kommerzielle Erweiterung setzte sich 2025 und 2026 fort. Infineon erklärte, dass die Entwicklung seiner 300-Millimeter-Fertigung für Galliumnitrid planmäßig verlaufe und erste Kundenmuster ab dem vierten Quartal 2025 vorgesehen seien. Diese Materialien werden keine Siliziumprozessoren ersetzen. Sie übernehmen jedoch bereits Aufgaben in Teilen des elektrischen Systems, das moderne Geräte versorgt, lädt und steuert.

Der wahrscheinlichste Chip der Zeit nach der ausschließlichen Siliziumnutzung wird aus mehreren spezialisierten Bausteinen bestehen und nicht aus einem einheitlichen Materialblock. Fortschrittliche Gehäuse- und Verbindungstechniken ermöglichen es, einen großen Entwurf in kleinere Chiplets aufzuteilen, die mit unterschiedlichen Verfahren hergestellt werden. Eine Recheneinheit kann die neuesten Siliziumtransistoren verwenden, während Speicher in Form gestapelter Hochbandbreitenmodule direkt daneben angeordnet wird. Analoge Funktionen können auf einem älteren und kostengünstigeren Fertigungsverfahren verbleiben, während optische oder hochfrequente Bauelemente aus Verbindungshalbleitern bestehen. TSMCs 3DFabric-Familie mit Verfahren wie CoWoS, SoIC und InFO zeigt, dass die Verbindung und Anordnung einzelner Chips inzwischen ein wesentlicher Teil der Computerarchitektur ist und nicht mehr nur dem abschließenden Schutz der Bauteile dient. Kleinere Dies können die Fertigungsausbeute verbessern, die Wiederverwendung bewährter Funktionsblöcke ermöglichen und Materialien zusammenführen, die sich nur schwer gemeinsam auf einem Wafer herstellen lassen. Gleichzeitig müssen die Verbindungen zwischen den Chiplets eine sehr hohe Bandbreite bei geringem Energieverbrauch und zuverlässiger Wärmeabfuhr bieten.
Die Leitungen innerhalb eines Chips werden ebenso wichtig wie das eigentliche Transistormaterial. Kupfer ist bislang der Standardleiter für moderne Verbindungen, doch bei sehr schmalen Kupferbahnen steigt der elektrische Widerstand deutlich an. Zusätzlich sind Sperrschichten erforderlich, die wertvollen Platz beanspruchen. Forscher untersuchen deshalb Alternativen wie Kobalt, Ruthenium, Molybdän, topologische Halbmetalle und Strukturen mit Graphen. Eine 2025 veröffentlichte Übersichtsarbeit nannte Molybdänphosphid und verwandte Materialien als mögliche zukünftige Leiter, Graphen und Molybdändisulfid als besonders dünne Diffusionsbarrieren sowie amorphes Bornitrid als möglichen Isolator mit geringer Kapazität. Keines dieser Materialien wird mit Sicherheit sämtliche Kupferleitungen eines Chips ersetzen. Wahrscheinlicher ist, dass je nach Leitungsebene unterschiedliche Metalle und Barriereschichten verwendet werden. Die Auswahl richtet sich dann nach Leiterbreite, Stromstärke, Zuverlässigkeit und Vereinbarkeit mit bestehenden Fertigungsschritten.
Optische Kommunikation ist ein weiterer wichtiger Bestandteil zukünftiger Chips aus mehreren Materialien. Die elektrische Übertragung von Daten innerhalb eines Gehäuses oder zwischen Rechenschränken benötigt immer mehr Energie, während KI-Systeme weiter wachsen. Die Siliziumphotonik nutzt bekannte Waferverfahren, um optische Wellenleiter und zahlreiche unterstützende Komponenten herzustellen. Materialien wie Indiumphosphid können dabei Laser bereitstellen, während Verbindungen wie Bariumtitanat oder Lithiumniobat die Modulation von Licht verbessern können. Im Januar 2026 kündigten imec und Veeco ein mit 300-Millimeter-Fertigungsverfahren vereinbares Verfahren zur Integration von Bariumtitanat in Siliziumphotonik an. Damit sollen schnelle optische Funktionen mit niedrigem Energieverbrauch ermöglicht werden. Das wahrscheinliche Ergebnis ist kein optischer Ersatz für jeden Transistor. Stattdessen werden elektronische Logik und lichtbasierte Datenverbindungen enger miteinander verbunden. Dadurch sinkt der Energiebedarf für die Datenübertragung, während Silizium und andere Halbleiter weiterhin die eigentlichen Berechnungen ausführen.
Zwischen 2026 und dem Ende des Jahrzehnts werden die meisten Prozessoren für den breiten Markt voraussichtlich weiterhin grundsätzlich auf Silizium beruhen. Gate-All-Around-Nanosheets, rückseitige Stromversorgung, verbesserte Lithografie, neue Leitungsmaterialien und leistungsfähigere Gehäusetechniken werden die kurzfristigen Fortschritte ermöglichen. Vertikal gestapelte komplementäre Transistoren könnten folgen, sobald die entsprechenden Fertigungsverfahren ausgereift sind. Zweidimensionale Halbleiter und Kohlenstoffnanoröhren werden wahrscheinlich zunächst in zusätzlichen Schichten, experimentellen Beschleunigern, Sensoren, Speichern oder besonders energiesparenden Spezialschaltungen eingesetzt, bevor sie vollständige Hochleistungsprozessoren ersetzen. Verbindungshalbleiter werden sich über Chiplets und optische Bauelemente weiter verbreiten. Siliziumkarbid und Galliumnitrid dürften zugleich einen wachsenden Anteil der Leistungselektronik übernehmen. Dieser Wandel erfolgt schrittweise, ist aber keineswegs unbedeutend. Nahezu jede Schicht eines Chips und seines Gehäuses wird derzeit neu bewertet.
Kosten und Fertigungsausbeute werden darüber entscheiden, welche Erfolge aus Forschungslaboren tatsächlich in alltäglichen Produkten ankommen. Ein Material kann eine hervorragende Ladungsträgerbeweglichkeit besitzen oder besonders hohen elektrischen Feldern standhalten und dennoch kommerziell scheitern, wenn nur kleine Wafer verfügbar sind, häufig Defekte auftreten, Kontakte unzuverlässig bleiben oder völlig neue Anlagen erforderlich sind. Auch Umwelt- und Versorgungsfragen spielen eine Rolle. Manche Verbindungen benötigen seltene Elemente, energieintensive Kristallzucht oder Lieferketten, die auf wenige Regionen konzentriert sind. Hersteller werden Materialien bevorzugen, die sich mit möglichst geringen Änderungen in bestehende Fabriken integrieren lassen und einen klaren Vorteil für das gesamte System liefern. Gemischte Entwürfe besitzen deshalb einen wichtigen Vorteil: Ein teures Material wird nur in kleinen Mengen und genau dort eingesetzt, wo es den größten Nutzen bietet. Silizium bleibt dagegen in den großen Bereichen erhalten, in denen es wirtschaftlich und zuverlässig ist.
Die treffendste Antwort auf die Frage, was nach Silizium kommt, lautet deshalb: mehrere neue Materialien, die gemeinsam mit Silizium eingesetzt werden. Silizium wird seine frühere Rolle als nahezu universelle Lösung für jedes Halbleiterproblem teilweise verlieren, aber weiterhin das strukturelle und fertigungstechnische Zentrum vieler moderner Chips bilden. Atomar dünne Kanäle könnten die weitere Verkleinerung von Transistoren ermöglichen. Kohlenstoffnanoröhren könnten besonders energiesparende Logik unterstützen. III-V-Verbindungen könnten Licht und Hochfrequenzsignale verarbeiten. Siliziumkarbid und Galliumnitrid werden die Energieumwandlung verbessern, während neue Metalle und Isolatoren den Datenfluss durch immer dichtere Schaltungen aufrechterhalten. Der Fortschritt wird nicht an dem Tag gemessen werden, an dem ein einzelner Nachfolger für Silizium ausgerufen wird. Entscheidend ist die schrittweise Einführung von Chips, deren Leistung von mehreren sorgfältig integrierten Materialien abhängt. Dieser Ansatz ist bereits 2026 deutlich erkennbar und stellt den glaubwürdigsten Weg über die Grenzen der klassischen Siliziumskalierung hinaus dar.
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